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半自動勻膠顯影機

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更新時間：2023-06-11 18:49:53瀏覽次數：1050次

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寧波潤華全芯微電子設備有限公司

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產品簡介

手動上、下片

詳細介紹

手動上、下片，自動對位和自動滴膠、顯影，晶圓背部清洗（BSR），邊緣清洗（EBR）CUP腔體自動清洗，CUP方便拆卸，限度減少光刻膠及顯影液堆積膠嘴具有保濕功能，防止由于勻膠機間歇生產而造成光刻膠干化 晶片尺寸
2-12英寸，圓形及方形基片，光刻膠旋涂及顯影工藝

主要技術參數
1、晶片尺寸： 2-12寸
2、上下料方式：手動取送片
3、離心機轉速
額定轉速： 6000 rpm
最小調整量： 1rpm
轉速精度： ±2rpm（50 rpm～6000 rpm）
4、吸盤(Chuck)
晶片固定方式：真空吸附
吸盤真空檢測：數顯真空壓力傳感器
材質： PPS、陶瓷（可根據客戶提供材質制作）
5、收集杯材質(CUP)： PP，氣液分離排放
6、供液方式：自動供膠、自動顯影
7、光刻膠黏度： MAX. 10000CP
8、光刻膠種類： MAX. 3種
9、光刻膠保濕功能：丙酮藥液保濕盒
10、光刻膠清洗功能：晶圓背部清洗；晶圓邊緣清洗
11、顯影液種類： MAX. 2種