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Hiden HPR30過程氣體分析質(zhì)譜儀

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱北京英格海德分析技術(shù)有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地北京市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2019/3/22 11:48:53
  • 訪問次數(shù)633
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Hiden Analytical 成立于1981年,位于英格蘭沃靈頓。是世界*的四極桿質(zhì)譜儀及相關(guān)分析儀器的設(shè)計和生產(chǎn)者。多年來,我們在客戶中建立了良好的聲譽。我們的客戶多數(shù)都是工作在新技術(shù)研究的前沿,如等離子體、表面科學(xué)。我們與他們保持著密切的、積極的關(guān)系。
 

質(zhì)子傳遞反應(yīng)質(zhì)譜; 殘余氣體分析; 導(dǎo)熱系數(shù)分析儀;
Hiden HPR30過程氣體分析質(zhì)譜儀適用于監(jiān)測分析殘余氣體和真空工藝過程中的氣體組成及變化。
Hiden HPR30過程氣體分析質(zhì)譜儀 產(chǎn)品信息

Hiden HPR30過程氣體分析質(zhì)譜儀技術(shù)參數(shù):
HPR-30真空過程氣體分析系統(tǒng)(Process Gas Analyser),適用于監(jiān)測分析殘余氣體和真空工藝過程中的氣體組成及變化。

應(yīng)用:
   · CVD / PECVD / RIE / LPCVD / MOCVD 
   · 真空涂覆/ 等離子刻蝕
   · 沉積濺射
   · 污染物研究
   · 基本壓力辨別
   · 泄漏探測/ 實質(zhì)泄漏/脫附分析
   · 除氣/烘烤/泵效能
   · 反應(yīng)室/過程氣體污染物

Hiden HPR30過程氣體分析質(zhì)譜儀 特點:
   · 簡潔的桌上型,移動推車或控制臺架結(jié)構(gòu)
   · Direct re-entrant流孔板,差式泵,以達(dá)到適宜的靈敏度
   · 連續(xù)取樣從10-4mbar至1mbar. 
   · 高靈敏度(可至5ppb),質(zhì)量數(shù)可選至1000amu
   · 軟離子化技術(shù),分析復(fù)雜有機(jī)物,或表觀MS研究
   · 穩(wěn)定性好(24h之上,峰高變化小于±0.5%) 
   · MASsoft軟件控制,或由局域網(wǎng)進(jìn)行多個系統(tǒng)控制
   · 氣動閥自動控制;出現(xiàn)電力不足或壓力過大等不安全狀況時可啟用手動隔離裝置
   · 自動、同時數(shù)據(jù)取得、分析,實時顯示、報警

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