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EQS二次離子質譜探針儀器簡介：
EQS 是差式泵式二次離子質譜（SIMS-Secondary Ion Mass Spectrometer ‘Bolt-On’ probe），可分析來自固體樣品的二次陰、陽離子和中性粒子。采用新技術的SIMS 探針，便于連結到現有的UHV表面科學研究反應室。
技術參數：
應用：
· 靜態 /動態SIMS
· 一般目的的表面分析
· 整體的前端離子源，便于RGA和 SNMS
· 兼容的離子槍/ FAB 槍
· 成分/污染物分析
· 深度分析
· 泄漏檢測
· 與Hiden SIMS 工作站兼容
EQS二次離子質譜探針 主要特點：
· 高靈敏度脈沖離子計數檢測器，7個數量級的動態范圍
· SIMS 成像，分辨率在微米以下
· 光柵控制，增強深度分析能力
· 45°靜電扇形分析器, 掃描能量增量 0.05 eV/ 0.25eV FWHM.
· 所有能量范圍內，離子行程的小擾動，及恒定離子傳輸
· 差式泵3級過濾四極桿，質量數范圍至2500amu
· 靈敏度高 / 穩定的脈沖離子計數檢測器
· Penning規和互鎖裝置可提供過壓保護
· 通過RS232、RS485或Ethernet LAN，軟件 MASsoft控制
Hiden Analytical 成立于1981年，位于英格蘭沃靈頓。是世界*的四極桿質譜儀及相關分析儀器的設計和生產者。多年來，我們在客戶中建立了良好的聲譽。我們的客戶多數都是工作在新技術研究的前沿，如等離子體、表面科學。我們與他們保持著密切的、積極的關系。
質子傳遞反應質譜； 殘余氣體分析； 導熱系數分析儀；
EQS二次離子質譜探針 產品信息
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