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皓天鑫
值得注意的是，這是Veeco Instruments首個用于大批量生產(chǎn)DRAM設(shè)備的系統(tǒng)。該公司還宣布，它收到了來自其最新先進(jìn)客戶的多個訂單，以支持其產(chǎn)量增長。公司表示，將繼續(xù)執(zhí)行其通過新應(yīng)用擴(kuò)大份額的戰(zhàn)略。
對于此次順利斬獲多個大訂單，Veeco產(chǎn)品線管理高級副總裁Adrian Devasahayam博士評論稱：“很自豪我們的LSA平臺被先進(jìn)的內(nèi)存和邏輯(Logic)設(shè)備制造商選擇用于大批量生產(chǎn)。Veeco的LSA系統(tǒng)被廣泛認(rèn)為是低熱預(yù)算應(yīng)用的最佳退火解決方案。隨著設(shè)備在高級節(jié)點(diǎn)上的發(fā)展，我們的LSA平臺的精密退火變得越來越重要。在DRAM設(shè)備市場的成功滲透，預(yù)計(jì)將顯著擴(kuò)增我們的服務(wù)市場。”
激光尖峰退火/激光脈沖退火是一種用于半導(dǎo)體前端制造的毫秒退火技術(shù)，通過激活摻雜劑來降低關(guān)鍵晶體管結(jié)構(gòu)的電阻。據(jù)介紹，Veeco的LSA系統(tǒng)能夠進(jìn)行高溫退火，同時在前沿節(jié)點(diǎn)保持先進(jìn)設(shè)備的低熱預(yù)算。這些退火步驟有助于確定所得到器件的電氣特性和性能。
據(jù)透露，這些新訂單來自Veeco Instruments位于美國加州圣何塞的新工廠，代表了半導(dǎo)體行業(yè)對Veeco先進(jìn)工藝技術(shù)不斷增長的需求。
據(jù)Veeco Instruments在5月8日發(fā)布的2023年第一季度財(cái)報(bào)，公司在該季度實(shí)現(xiàn)營收1.535億美元，預(yù)計(jì)2023年二季度營收在1.45億美元至1.65億美元之間。
公司首席執(zhí)行官Bill Miller指出，該季度公司的激光退火業(yè)務(wù)成為了一大亮點(diǎn)，并且正不斷獲得增長動力，公司獲得了關(guān)鍵客戶的額外退火設(shè)備訂單。與此同時他表示，公司也看到了先進(jìn)節(jié)點(diǎn)內(nèi)存市場的牽引力，這對公司而言是一個重要的長期增長機(jī)會。
激光退火已逐漸成為新一代的主流退火技術(shù)，它在集成電路中的應(yīng)用主要圍繞3大方面：1)給半導(dǎo)體器件的電機(jī)退火，金屬化形成歐姆接觸；2)給集成電路內(nèi)部的連接退火；3)給3D的結(jié)構(gòu)做退貨，如存儲器、NEMS等退火。
關(guān)于Veeco Instruments
Veeco Instruments是一家創(chuàng)新的半導(dǎo)體工藝設(shè)備制造商，其激光退火、離子束、化學(xué)氣相沉積(CVD)、金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積(MOCVD)、單晶片蝕刻和清潔以及光刻技術(shù)在先進(jìn)半導(dǎo)體器件的制造和封裝中發(fā)揮著重要作用。公司提供在先進(jìn)技術(shù)節(jié)點(diǎn)上具有革命性的低擁有成本、HVM 生產(chǎn)經(jīng)過驗(yàn)證的激光尖峰退火技術(shù)解決方案。
公司的主要品牌有：DI掃描探針顯微鏡、近場光學(xué)顯微鏡、DEKTAK探針輪廓儀、WYKO激光干涉儀和光學(xué)輪廓儀、NEXUS離子束沉積系統(tǒng)、TurboDisc金屬有機(jī)化學(xué)汽相沉積、VEECO分子束外延系統(tǒng)、SPECTOR鍍膜系統(tǒng)、VEECO離子源等等。
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