消息稱臺積電月底將接收首臺高數值孔徑極紫外光刻機單價約3.8億美元

2024-09-12 10:03:00來源：TechWeb.com.cn 關鍵詞：臺積電極紫外光刻機閱讀量：21296

導讀：外媒最新援引半導體產業內的消息報道稱，臺積電將在月底從阿斯麥接收首臺高數值孔徑極紫外光刻機。

　　9月11日消息，據外媒報道，在5nm和3nm制程工藝上，臺積電和三星電子從阿斯麥采購了大量的極紫外光刻機，而隨著制程工藝的升級，臺積電和三星電子也需要購買更先進的光刻機，在2nm以下的制程工藝上，就需要高數值孔徑極紫外光刻機。

　　而外媒最新援引半導體產業內的消息報道稱，臺積電將在月底從阿斯麥接收首臺高數值孔徑極紫外光刻機。

　　阿斯麥公布的消息顯示，他們的高數值孔徑極紫外光刻機，將命名為EXE系列，數值孔徑將由0.33增至0.55，用于2nm及以下的制程工藝。在此前所發布的財報中，阿斯麥也曾披露他們的EXE系列高數值孔徑極紫外光刻機，已有TWINSCAN EXE:5000和TWINSCAN EXE:5200兩個型號，前者在2018年就已開始獲得客戶的訂單，后者在2021年四季度也獲得了首臺訂單。

　　從外媒的報道來看，臺積電月底從阿斯麥接收的首臺高數值孔徑極紫外光刻機，是TWINSCAN EXE:5000型號。

　　雖然外媒在報道中稱臺積電月底就將從阿斯麥接收首臺高數值孔徑的極紫外光刻機，但他們也提到，臺積電是計劃在1.4nm制程工藝上開始采用這一類的光刻機，他們的1.4nm制程工藝計劃在2027年量產。

　　在1.4nm制程工藝量產前近3年就開始接收高數值孔徑的極紫外光刻機，也將給臺積電這一制程工藝的研發及后續大規模量產帶來便利，進而獲得可觀的訂單，在市場份額上繼續領先。

　　在報道中，外媒也提到了阿斯麥高數值孔徑極紫外光刻機的售價，每臺約3.84億美元。

　　在高數值孔徑極紫外光刻機上，阿斯麥前CEO兼總裁彼得•維尼克2022年的11月份曾透露，將在2024年開始出貨，每臺的價格在3億到3.5億歐元。(海藍)

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