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6英寸勻膠顯影機 標準型 ACD6 COATER&DEVELOPER

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更新時間:2023-11-09 08:05:18瀏覽次數:429次

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產品簡介

設備配置2C2D、4C、4D設備產能180WPH襯底材質Si、Glass、Sapphire、GaAs、InP、GaN、SiC、LT、LN等線寬0

詳細介紹

設備配置 2C2D、4C、4D
設備產能 180WPH
襯底材質 Si、Glass、Sapphire、GaAs、InP、GaN、SiC、LT、LN等
線寬 ≥0.35um
適用工藝 G-line、i-line、PI 
應用領域 MEMS、功率器件、射頻集成、光通訊、LED、科研等
技術特征 ?設備采用高速機械手、產能高,穩定性好;
?配置有RRC功能,光刻膠4寸用量可控制在0.6ml;
?設備故障、生產工藝參數等記錄等可長期保存備查;
?光刻膠采用精密計量泵供應,精度高,供液穩定,出膠量設定方便;
?可做兩種尺寸兼容,不需要更換零件;
?可選配光刻膠顯影液溫控, HMDS等單元部件。
設備尺寸 1650*1450*2040mm(W*D*H)

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