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熱點快評：中國企業購得ASML光刻機

2021-01-21 14:20:07來源：智能制造網編輯：林中易木關鍵詞：光刻機芯片閱讀量：49233

導讀：耗時4個月，1月20日晶瑞股份從韓國代理商那里斥資7000余萬人民幣購得了一臺二手ASML浸沒式光刻機。

　　光刻機被譽為半導體產業“皇冠上的明珠”。在芯片制造中，每顆芯片都需要經過光刻機的雕刻，且精度要達到頭發絲的千分之一。因此作為核心的機器，光刻機對于一個國家的芯片發展來說必不可少。但目前，我國卻并沒有掌握光刻機制造技術。

　　由于我國半導體產業起步較晚，同時光刻機研發和制造難度又極大，因此我國始終無法推開光刻機的大門。截至當前，光刻機市場主要玩家仍然只有荷蘭、美國和日本，發展基本被其所壟斷。在此背景下，一直以來我國光刻機都依靠國外引進。

　　例如在2020年，我國就向ASML訂購了數臺EUV光刻機，但直到現在也還未能發貨。背后的原因，一方面是受到年初疫情的影響，另一方面是遭到了美國的阻撓。整個2020年，美國不僅對我國相關芯片企業發起制裁，同時還切斷了我國芯片供應鏈。

　　不過，近日我國一家叫晶瑞股份的公司終于傳來好消息！耗時4個月，1月20日晶瑞股份從韓國代理商那里斥資7000余萬人民幣購得了一臺二手ASML浸沒式光刻機，解了當前我國芯片制造的燃眉之急。其預計，這臺光刻機將助力國產12英寸芯片。

　　這一消息雖然令人振奮和欣喜，但依然給我們敲響了警鐘。因為我們可以看到，一來從國外買進的光刻機是如此昂貴，哪怕是別人用剩的；二來購買光刻機是如此麻煩，耗時費錢不說，還會受到外部環境的阻撓與沖擊；三來，購得的光刻機也并不是很先進。

　　基于此，我國要想實現芯片自力更生和獨立自主，還是需要推動國產光刻機等關鍵技術與核心零部件的研發突破。這其中，除了要加速本土企業入局之外，也離不開國家隊的幫助。去年9月份，中科院就曾表示將把美國卡脖子清單變成我國科研任務清單。

　　未來，在政企研三力合一的情況下，期待我國在芯片制造上能取得突破。

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