盛美上海推出全新升級版先進封裝用涂膠設備

2022-05-28 08:40:05來源：TechWeb.com.cn 關鍵詞：涂膠設備封裝技術閱讀量：21525

導讀：5月27日消息，盛美上海推出升級版的涂膠設備，該款設備在性能和外觀進行了優化，應用于先進晶圓級封裝。

　　5月27日消息，盛美上海推出升級版的涂膠設備，該款設備在性能和外觀進行了優化，應用于先進晶圓級封裝。

　　該涂膠設備兼容200mm和300mm晶圓，可執行晶圓級封裝光刻工藝的關鍵步驟，如光刻膠和Polyimide涂布、軟烤；還可利用創新性方法和精準的涂膠控制，實現精確的阻擋邊緣清除效果。涂膠腔內采用了盛美上海專有的全方位無死角自動清洗技術，可以縮短設備預防性維護(PM)的時間，尤其是針對光刻膠厚度較高(甚至超過 100µm)的涂膠應用。

　　(舊款機臺尺寸寬2550mm長2150mm 高2650mm，新款機臺尺寸寬2150mm長1800mm 高2650mm，占地面積減少30%)

　　據悉設計升級后的涂膠設備整體尺寸減小，內部空間更為緊湊，相比舊款機臺，占地面積減少30%，高效利用廠房空間。同時對稱式分布的整體設計，Loadport改為雙開門的設計，使設備更美觀。該設備性能上也有所升級，可選配腔體自動清洗功能，能夠減少定期維修次數及時間，同時可提供無腔體自動清洗功能的簡化版供客戶選擇。在腔體設計中，將兩個單獨腔體合二為一，使整體空間更為緊湊，同時采用完全密封設計，可避免工藝過程中使用的藥液影響外部環境。該設備8/12寸晶圓傳輸系統的自動識別設計，可避免晶圓尺寸與腔體配置不符時造成碎片情況的發生，有效減少因人為誤操作造成的損失。值得一提的是，該涂膠設備還升級了熱板的結構，在腔體結構緊湊的前提下，新設計可實現熱板抽屜式抽出，方便維修及更換，同時創新的定位設計可保證熱板反復抽出后精確復位，有效保障工序運行。

　　原標題：盛美上海推出全新升級版先進封裝用涂膠設備

上一篇：聯創股份16億加碼PVDF項目

下一篇：zyzhan 6月藥機盛會，山東亞安即將閃亮登場！

我要評論

昵稱

匿名

文明上網，理性發言。（您還可以輸入200個字符)

表情

所有評論僅代表網友意見，與本站立場無關。

小米Civi用上新一代COP封裝技術：支持120Hz高刷
據小米介紹，小米Civi這次用上了旗艦級的雙曲面屏幕，不僅支持120Hz高刷，還支持真正的10bit面板，可顯示10億色彩，支持原色屏顯示等等，素質很不錯。
封裝技術封裝設備
2021-09-26 17:11:16

版權與免責聲明：

凡本站注明“來源：智能制造網”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網絡有限公司-智能制造網合法擁有版權或有權使用的作品，未經本站授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經本網授權使用作品的，應在授權范圍內使用，并注明“來源：智能制造網”。違反上述聲明者，本站將追究其相關法律責任。

本站轉載并注明自其它來源（非智能制造網）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本站贊同其觀點或和對其真實性負責，不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。如其他媒體、平臺或個人從本站轉載時，必須保留本站注明的作品第一來源，并自負版權等法律責任。如擅自篡改為“稿件來源：智能制造網”，本站將依法追究責任。

鑒于本站稿件來源廣泛、數量較多，如涉及作品內容、版權等問題，請與本站聯系并提供相關證明材料：聯系電話：0571-89719789；郵箱：1271141964@qq.com。