現代電子設備中至關重要的
半導體,其制造過程精密復雜。如何減少半導體必要材料
晶圓在機器或工廠間轉移時受到的污染和損耗成為一大難題。
機器人技術的應用能夠幫助減少晶圓碎片化風險,提高運輸效率,一起來一睹為快!
由于其材料特性,硅晶圓非常脆弱易碎。晶圓轉移的拆箱和包裝過程通常需要人工24小時不間斷地工作,才能趕上后續的生產步驟。為了滿足對半導體晶片日益增長的需求,穩定質量,降低碎片化風險,提高生產線運輸效率,半導體制造商易發精機選擇與ABB機器人合作,利用自動化技術最大限度地提高產能。
解決方案
首先,ABB IRB 4600機器人將晶圓運輸盒移動至氮氣填充站,然后由配備無塵超聲波切割機的IRB 1200以最佳切割路徑割開包裝晶圓運輸盒的鋁袋。
隨后,IRB 4600將晶圓運輸盒移動到另一個站點,移除鋁袋,并將廢棄的包裝丟棄。
最后,另一臺IRB 1200為IRB 4600放置RFID,卸載晶圓運輸盒。
高潔凈度
使用了符合潔凈室標準的IRB 1200和IRB 4600,配備了超聲波切割器,可避免產生更多的灰塵顆粒。
穩定可靠
ABB機器人的高精度和可靠性使工藝過程中的振動值小于0.35G,減少了硅晶圓轉移過程中的的污染和損耗。
高效輸送
實現了每小時30次晶圓運輸盒包裝/拆包過程的目標,滿足增長的生產需求。
易發精機第一業務部門的團隊負責人Royal Luo 表示,在引入自動化技術時,技術產品的多樣性是一個重大挑戰,但ABB機器人總能滿足我們的需求。在將設備銷售到海外后,我們仍然可以獲得ABB的技術支持,讓我們能安心與ABB機器人合作。
電子產品制造極其復雜。電子元件密度高、內部結構復雜、部件微小精密的特點,要求裝配過程具有極高的精度。而保證高精確性和重復定位精度的同時,整個解決方案還需要快速、高效、緊湊和可靠。
在電子制造中,如何讓所想即為所得?如何讓電子制造更加簡單、智能、高效?ABB RobotStudio讓這一切成為可能!
RobotStudio有著一流的虛擬控制器技術,可以使用屏幕上的模擬(或數字孿生)來精確模擬機器人在真實環境中的運動。這讓制造商能在對實際生產線做出任何更改之前,先在虛擬環境中構建、測試和改進機器人部署,加快了實際調試速度,最大限度地減少了生產中斷,并且可以顯著提高生產效率。
關于易發精機
易發精機(EFC)是一家領先的高科技工業加工設備系統集成商。其全自動精密生產的設備主要用于光電子行業、半導體行業和動力電池行業。公司以“以精湛工藝創造無限價值”為理念,通過對完美產品研發的不懈追求以及快速的服務、支持和響應,為客戶提供最佳效率。
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